COATER
포토레지스트(감광성수지)를 기판위에 균일한 두께로 도포하는 장치
A device that coats photo-resist in uniform thickness
Bake Unit
- Hot Plate
- Cool Plate
HMDS Unit
- 포토레지스트와의 밀착성 향상
ER Unit
- Central Dispense & Spin Coating
- Slit Dispense & Spin Coating
- Only Slit Coation (5세대 이상)
ETC
- Customized Dimension & Specification
- Full Automatiuon
- Real-Time Glass Monitoring System
- In-line Type대응
- Color Touch Screen 조작 Panel
- Loader / Unloader
- Ionizer (대전방지용)
적용분야
- TFT LCD
- C/F LCD
- PDP
- AMOLED
- FILM