ETCHER
기판 위에 증착된 금속막의 특정 부위를 Etchant를 사용하여 제거하는 장비
Etching is the process for pattern formation of using PR pattern mask to cut into the unprotected parts of a metal surface
- 반송 구동부의 밀폐로 인한 Fume 방지 구현
- 고압 Water Jet 사용으로 Etching 후 세정력 극대화
Etching Unit
- 요동 Type
- Spray Type
- Dip Type
Cleaning Unit
- 순수Rinse
Dry Unit
- Air-knife(Hot or Room Temp Air)
Transfer Unit
- Roller Conveyor
ETC
- Customized Dimension & Specification
- In-line Type대응
- Color Touch Screen 조작 Panel
- Loader / Unloader
- Ionizer (대전방지용)
- Temp Controlled Chemical Mixing Tank(20~35±1℃)
적용분야
- TFT LCD
- OLED
- TSP
- FLEX