OLED MASK 세정
자체 제작 세정기 및 Chemical로 OLED Metal Mask 표면 정밀 세정
- 장비사업부 노하우를 적용한 세정기 자체 제작
- 물리적(초음파, 버블) 세정 조건 최적화 Mask 정밀 이송 로봇
- 전용 Chemical 사용으로 증착물 제거 OLED Mask 모재 손상 無
Dry Unit
- Transfer -, A/K
Wet Unit
- Chemical, DI
Transfer
- Horizontal, Incline Vertical Type
- Full Automation
- Tank & Piping Room