ETCHER

etcher1

기판 위에 증착된 금속막의 특정 부위를 Etchant를 사용하여 제거하는 장비

Etching is the process for pattern formation of using PR pattern mask to cut into the unprotected parts of a metal surface

- 반송 구동부의 밀폐로 인한 Fume 방지 구현
- 고압 Water Jet 사용으로 Etching 후 세정력 극대화

Etching Unit
- 요동 Type
- Spray Type
- Dip Type

Cleaning Unit
- 순수Rinse

Dry Unit
- Air-knife(Hot or Room Temp Air)

Transfer Unit
- Roller Conveyor

ETC
- Customized Dimension & Specification
- In-line Type대응
- Color Touch Screen 조작 Panel
- Loader / Unloader
- Ionizer (대전방지용)
- Temp Controlled Chemical Mixing Tank(20~35±1℃)

적용분야
- TFT LCD
- OLED
- TSP
- FLEX