필름 형태의 유연한 소재를 두개의 Roll 사이에서 정밀하게 이송시키며 세정, 코팅, 식각등의 공정을 연속적으로 수행하는 장비
특징
무접점 접합 방식 BATH 구성
각 INNER CELL 개별 공급 처리
INNER CELL OVER FLOW 약액 튐 재오염 방지 기술 적용
TANK COOLING SYSTEM
TANK PUMP 순환 구조(여과기 구성)
특징
1. 초정밀 장력 및 사행 제어
- Tension Control: 필름이 늘어나거나 울지 않도록 이송 과정 전반에 걸쳐 미세한 장력을 일정하게 유지하여 소재의 변형을 방지
- EPC(Edge Position Control): 소재가 이송 중 한쪽으로 쏠리지 않도록 실시간으로 위치를 보정하는 사행 제어 시스템을 통해 공정의 정확도를 극대화
2. 고품질 연속 공정 모듈
- In-line Cleaning: 이동하는 필름 표면의 미세 이물을 비접촉 방식 또는 정밀 브러시를 통해 실시간으로 제거 가능
- Uniform Coating/Etching: 유연 소재 특성에 최적화된 습식 공정(Wet Process) 노하우를 결합하여, 넓은 면적에도 균일한 박막 형성 및 식각 성능 구현
3. 생산성 극대화 및 소재 손상 방지
- 연속 생산 시스템: Batch 방식(기판 단위 처리)과 달리 소재를 끊김 없이 처리하여 생산 속도를 획기적으로 향상
- Scratch-Free 이송: 소재와 접촉하는 롤러 표면 처리와 특수 이송 경로 설계를 통해 소재 표면의 스크래치 및 손상을 원천 차단
