특징
1. 고정밀 화학 처리 기술
- 최적화된 약품 분사: 노즐 설계 및 압력 제어 기술을 통해 기판 전체에 약품을 균일하게 분사하여 잔류물 없는 완벽한 박리 성능을 구현
- 미세 패턴 보호: 강력한 박리 성능을 유지하면서도 하부의 미세한 금속 회로와 절연막에 물리적·화학적 손상을 주지 않는 정밀 프로세스를 제공
2. 고온 및 고점도 대응 시스템
- 안정적인 온도 제어: 박리액의 온도를 정밀하게 관리하여 화학 반응 효율을 극대화하고 공정 시간을 단축
- 고점도 잔류물 제거: 고해상도 OLED 공정에서 발생하는 고점도 감광액 및 고난도 유기 오염물까지 효과적으로 제거
3. 친환경 설계
- 완벽한 격리 설계: 장비 내부의 가스(Fume) 유출을 방지하고 작업자와 환경을 보호하는 고도화된 실링(Sealing) 및 배기 시스템을 제공
