특징
1. 초정밀 오염 제어
- 다단계 세정 시스템: Chemical, Brush, High Pressure Jet, Megasonic 등 다양한 세정 방식을 조합하여 미세한 오염원까지 완벽하게 제거 가능
- 균일한 세정 성능: 대면적 기판에서도 편차 없는 균일한 세정 품질을 유지하여 대형 TV부터 초고해상도 모바일 패널까지 대응가능
2. 고도화된 기판 보호 기술
- Thin Glass 대응 : 점차 얇아지는 고부가가치 기판의 파손을 방지하기 위한 정밀 압력 제어 및 비접촉 이송 기술을 적용하여 기판보호 실현
3. 스마트 건조 및 친환경 시스템
- Spot-Free 건조 : Air Knife를 통한 잔류 물자국(Water Mark) 발생 원천 차단
- 에너지 저감 설계 : 순수(DI Water) 및 케미컬 사용량을 최적화 하고 재활용 시스템을 구축하여 고객사의 원가 절감에 기여
4. 대면적 및 Flexible 대응
- 8세대 이상의 대면적 기판은 물론, 휘어지기 쉬운 Flexible/Foldable용 박형 기판까지 손상 없이 안전하게 이송하며 정밀하게 세정하는 기술 보유
