"The Spectrum of Purity: From Components to Systems."
UPW SYSTEM
특징
- 고효율 185nm TOC 제어
초순수 내 유기물을 CO₂와 H₂O로 완벽하게 분해하여 ppb 단위의 초미세 유기물 농도를 정밀 관리
- 강력한 254nm 살균 솔루션
수처리 및 각종 공정 내 세균과 박테리아를 단시간에 박멸하는 고출력 살균 기술 적용
- 차세대 Excimer Lamp 라인업
반도체 및 디스플레이 공정에 최적화된 표면 세정 및 식각(Etching) 전용 광원 확보
- 전용 전자식 안정기 시스템
램프의 수명 연장과 안정적인 출력을 보장하는 고성능 매칭 기술 기반의 안정기 공급
- 통합 수처리 및 산화 장치
TOC 산화 장치와 UV 살균 장치를 아우르는 완성형 시스템 설계 및 엔지니어링 지원
- 검증된 수직 계열화 공정
자체 생산 라인을 통해 램프부터 시스템 장치까지 원스톱(One-Stop)으로 제공하는 맞춤형 솔루션
Low Pressure Lamps - TOC LAMP [저압 수은 TOC 램프] |
- 반도체 및 FPD 제조 시설의 초순수(DI Water) 제조 공정 내 유기물 제거용 저압 수은 램프 - 초순수(Ultra-pure Water) 생산 - 폐수 살균 및 소독 - 수중 및 대기 중 유해 물질의 산화 분해 - 오존(O₃) 생성 |
Amalgam Lamp [고출력 아말감 램프] |
- 극대화된 수명 및 강력한 출력 (Extremely long life, High power) - 독자적인 특수 코팅 기술 적용 (Unique coating) - 주변 온도 변화에 영향을 받지 않는 안정성 (Insensitive to temperature fluctuations) |
Super Pure Water Treatment (TOC-UV System) [초순수 수처리 유기물 산화 장치] |
- UV 파장(185nm)을 활용한 미세 유기물 분해 및 제거 - 자외선 조사 효율을 극대화한 최적의 수로(Flow Channel) 및 챔버 구조 설계 - 유기물을 유기산 또는 무기 탄산으로 분해하여 수질 정밀 제어 - 저농도 유기물 처리에 최적화된 시스템 |
Electronic Ballast |
- 자사 램프와의 완벽한 매칭을 통해 최적의 성능을 구현하는 시스템 통합형 안정기 - 모든 종류의 살균 램프에 적합한 폭넓은 라인업과 고주파 제어 방식의 기술적 우위 제공 |
SPECIFICATION
